Flex ion 200/400中束流離子注入設備

◆注入離子能量200KeV或400KeV雙電荷注入可達到800KeV

◆三電荷注入可達到1200KeV

◆IHC離子源

◆擴大的注入離子裝載能力

◆可同時配有4個2.2L氣罐

◆可配有4路惰性氣路

◆注入離子的原子質量可達到218AMU